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表面粗糙度测量方法

比较法将表面粗糙度比较样块,根据视觉和触觉与被测表面比较,判断被测表面粗糙度相当于那一数值,或测量其反射光强变化来评定表面粗糙度(见激光测长技术)。样块是一套具有平面或圆柱表面的金属块,表面经磨、车、镗、铣、刨等切削加工,电铸或其他铸造工艺等加工而具有不同的表面粗糙度。有时可直接从工件中选出样品经过测量并评定合格后作为样块。利用样块根据视觉和触觉评定表面粗糙度的方法虽然简便,但会受到主观因素影响,常不能得出正确的表面粗糙度数值。触针法利用针尖曲率半径为2微米左右的金刚石触针沿被测表面缓慢滑行,金刚石触针的上下位移量由电学式长度传感器转换为电信号,经放大、滤波、计算后由显示仪表指示出表面粗糙度数值,也可用记录器记录被测截面轮廓曲线。一般将仅能显示表面粗糙度数值的测量工具称为表面粗糙度测量仪,同时能记录表面轮廓曲线的称为表面粗糙度轮廓仪(简称轮廓仪),这两种测量工具都有电子计算电路或电子计算机,它能自动计算出轮廓算术平均偏差rα,微观不平度十点高度rz,轮廓最大高度ry和其他多种评定参数,测量效率高,适用于测量rα为0.025~6.3微米的表面粗糙度。光切法光线通过狭缝后形成的光带投射到被测表面上,以它与被测表面的交线所形成的轮廓曲线来测量表面粗糙度。由光源射出的光经聚光镜、狭缝、物镜1后,以45°的倾斜角将狭缝投影到被测表面,形成被测表面的截面轮廓图形,然后通过物镜2将此图形放大后投射到分划板上。利用测微目镜和读数鼓轮,先读出h值,计算后得到h值。应用此法的表面粗糙度测量工具称为光切显微镜。它适用于测量rz和ry为0.8~100微米的表面粗糙度,需要人工取点,测量效率低。干涉法利用光波干涉原理(见平晶、激光测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高(可达500倍)的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方法适用于测量rz和ry为0.025~0.8微米的表面粗糙度。

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